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Uniformité de la machine de gravure sous vide ≥90%, facteur de gravure ≥3,5 fois. Le dispositif d'aspiration sous vide permet au système d'exploitation de pulvérisation de générer une pression négative, formant une faible force d'aspiration, absorbant le liquide de gravure riche en ions de cuivre, empêchant efficacement la "puddle". Ce qui peut améliorer l'efficacité de production, la qualité, la vitesse de gravure et l'uniformité de gravure.