I, الغرض من الحفر
الغرض من الحفر هو حفر الجزء غير المحمي غير الموصل من النحاس على لوحة الدائرة المطبوعة مع أنماط صنعت في العملية السابقة لتشكيل دائرة.
يتضمن الحفر الحفر الطبقة الداخلية وحفر الطبقة الخارجية. الطبقة الداخلية تعتمد الحفر الحمضي ، والفيلم الرطب أو الفيلم الجاف هو عامل مضاد للتآكل ؛ الطبقة الخارجية محفورة القلوية ، والرصاص القصدير هو مثبط التآكل.
ثانيا، المبادئ الأساسية لتفاعل الحفر
- حلول الحفر من كلوريد النحاس الحمضي
① . الخصائص
سرعة الحفر سهلة التحكم، وحل الحفر يمكن تحقيق جودة الحفر العالية في حالة مستقرة
كمية كبيرة من تآكل النحاس
حل الحفر سهل التجديد وإعادة التدوير
② مبدأ التفاعل الرئيسي
خلال عملية الحفر ، يتم أكسدة Cu2 ، والتي تؤكسد ورقة النحاس إلى Cu: Cu CuCl2 → 2CuCl
CuCl المتولد غير قابل للذوبان في الماء ويولد أيونات معقدة قابلة للذوبان في وجود أيونات الكلوريد الزائدة:
2CuCl 4Cl- →2 [CuCl3]2-
مع تقدم التفاعل ، يصبح Cu أكثر وأكثر ، وتقلص قدرة الحفر النحاسية. من الضروري تجديد محلول الحفر لجعل Cu تصبح Cu2. طرق التجديد هي على النحو التالي: تجديد الأكسجين أو الهواء المضغوط (معدل تفاعل منخفض) ، تجديد الكلور (تفاعل سريع ، ولكن سام) ، تجديد التحليل الكهربائي (يمكن استرداد النحاس مباشرة ، ولكن المعدات التي تتطلب تجديد التحليل الكهربائي واستهلاك الطاقة العالي) ، تجديد هيبوكلوريت الصوديوم (تكلفة عالية ، أكثر خطورة) ، تجديد بيروكسيد الهيدروجين (معدل تفاعل سريع ، سهل التحكم)
تفاعل: 2CuCl 2HCl H2O2 → 2 CuCl2 2H2O
نظام إضافة التحكم التلقائي: يتم تحقيق الإنتاج المستمر التلقائي عن طريق التحكم في سرعة الحفر ، وإضافة نسبة بيروكسيد الهيدروجين وحمض الهيدروكلوريك ، والجاذبية المحددة ، ومستوى السوائل ، ودرجة الحرارة وغيرها من البنود.
ثالثا، آلة حفر الفراغ
1) هيكل حفر الفراغ
تم تطوير آلة النقش بالفراغ لأول مرة من قبل الشركة الألمانية Pilek وأطلقت في عام 2001. ويقال إن براءات الاختراع قد تم تطبيقها في الولايات المتحدة وألمانيا واليابان والصين، وقد تم تحسين المعدات على مر السنين.
مجموعة من هياكل وحدات آلة الحفر بالفراغ. يتكون من ثلاث مضخات غواصة ، واحدة للرش العلوي والآخر للرش السفلي ، ورش محلول الحفر الطازج على اللوحات العليا والسفلية على التوالي. المضخة الثالثة تخدم فوهة فينتوري الخصر الرقيقة التي تنتج فراغ. أنبوب فينتوري لديه ثلاثة موانئ. المضخة الثالثة تدور الحل في فوهة فنتوري. تميل الفوهة إلى الفوهة العليا لتوليد ضغط سلبي. يمكن امتصاص محلول اللوحة من خلال رأس الامتصاص الممتد إلى سطح اللوحة العليا من خلال الأنابيب ، بحيث لا يبقى محلول الحفر على سطح اللوحة.
تم تصميم رأس امتصاص الفراغ كشق مسطح وثبت على مسافة حوالي 0.5 مم من سطح الركيزة
يتم دمج الموقف مع لفة الصحافة العليا للنقل ، والتي يمكن أن ترتفع وتسقط مع سمك اللوحة. الفوهات العليا والسفلية من رذاذ الحفر هي فوهات مسطحة على شكل مروحة ، والتي لها تأثير قوي على الركيزة.
آلة الحفر بالفراغ لديها هيكل وظيفة التحكم مشابهة لأجهزة الحفر العامة الأخرى ، بما في ذلك نظام المراقبة والتحكم في تكوين الحل والجاذبية المحددة ودرجة الحرارة ، إلخ ، ونظام الكشف عن ضغط الرش والتدفق والتعديل ، وجهاز إنذار انسداد الفوهة. يمكن لآلة الحفر بالفراغ استخدام كلوريد النحاس الحمضي وكلوريد النحاس القلوي وكلوريد الحديد وحلول الحفر الأخرى.
2) تأثير آلة الحفر بالفراغ
لتأكيد توحيد الحفر، 35 μ M ورق مغلفة من ورق النحاس هو respectivel
يتم إجراء حفر لوحة كاملة على آلة حفر الفراغ ، ويتم حفر ورق النحاس في وسط اللوحة إلى 18 μ توقف عندما يكون سمك م ، وكشف توزيع سمك النحاس على سطح اللوحة بأكمله. توزيع سمك النحاس الذي يتم الحصول عليه عن طريق الحفر التقليدي عادة ما يكون الجبل العالي في الوسط ، في حين أن توزيع سمك النحاس الذي يتم الحصول عليه عن طريق الحفر بالفراغ موحد. مركز وحافة الحفر التقليدي ضمن طول 600 مم
الفرق في سمك النحاس هو حوالي ± 4 μ م (18 ~ 10 μ م) في حين أن الفرق في سمك النحاس المحفور بالفراغ بين المركز والحافة هو حوالي ± 1 μ م (19 ~ 17 μ م) فقط.
يتم استخدام آلة الحفر بالفراغ لجعل عرض الخط / المسافة بين الخطوط ≤ 30/30 μM سهل الإدراك. من أجل الحصول على التأثير المثالي ، من الضروري فهم العوامل مثل قوة الفراغ وضغط الرش وسمك رقائق النحاس. كمية امتصاص فوهة الفراغ في الحفر إلى محلول اللوحة يجب أن تكون مساوية أو أكبر قليلا من كمية الرش. إذا كانت كمية الامتصاص صغيرة ، فسيتم احتجاز الحل القديم. سيؤثر ضغط الرش على سرعة الحفر ودرجة التآكل الجانبي ، ولكن الضغط سيضر بفيلم مكافحة الحفر.

سبتمبر 13, 2022